جهاد دانشگاهی صنعتی شریف

آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک

2 1

 

معرفی آزمایشگاه

c

آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک دارای سه دهه تجربه در زمینه ارائه خدمات تخصصی لایه نشانی لایه نازک با دقت نانومتر می باشد.
این مجموعه هم اکنون مجهز به سیستم های لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ، الکترون گان، تبخیر مقاومتی حرارتی، اتاق ها و میزهای تمیز، کوره عملیات حرارتی و دستگاه اسپکتروفتومتر است.

 

خدمات و توانایی های تخصصی 

• پوشش دهی با انواع لایه های نازک فلزی و دی الکتریک به روش های ذیل:
– تبخیر حرارتی مقاومتی۲
– تبخیر حرارتی با تفنگ الکترونی
– مگنترون اسپاترینگ DC
– راکتیو اسپاترینگ
• مجهز به کامل ترین بانک انواع تارگت های فلزی و دی الکتریک شامل:
Al, Ti, Mo, Cr, Co, Cu, Ni, Fe, Zn, ITO, ZrO2, ZnO, MgO, AZO, Al2O3, Zr, Sn, SiO2, C, TiO2, . . .
• مجهز به بانک انواع پودر، شمش، قرص و دانه های فلزی و غیرفلزی شامل:۳_۳
MgF2, TiO2, Cr2O3, SiO2, Pt, Sn, Cr, Ni, Al, Pb, In, Ag, Au, . . .
• عملیات حرارتی بر روی لایه های نازک در اتمسفر گازهای آرگون، نیتروژن و اکسیژن با قابلیت برنامه ریزی در ۹ برنامه۹ مرحله ای تا ۱۲۰۰ درجه سانتی گراد
• اسپکتروفتومتری:
– اندازه گیری طیف عبور، بازتاب و جذب برای تمام لایه های فلزی و دی الکتریک در گستره طول موج ۲۰۰ تا ۱۱۰۰ نانومتر
– فتولومینسانس، رنگ سنجی و غلظت سنجی
– اندازه گیری ضخامت و طیف پاشندگی لایه های دی الکتریک

 

 

۴_۱

تلفن: ۶۶۰۷۵۱۵۶ و ۶۶۰۲۸۱۹۴

پست الکترونیکی: microelectronic@jdsharif.ac.ir

 

 

2 Comments
  1. توحید دهقانی says

    سلام. ساخت میکرو کانال با کوچکترین اندازه ۲۰ میکرون با این روش امکان پذیر هست؟

  2. آجورلو says

    با سلام و احترام
    بستگی به جنس و عمق تراشه مورد نظر و ماسکتان دارد؛ برای بررسی دقیق طرح، لطفا طرح خود را به ادرس microelectronic@jdsharif.ac.ir ارسال فرمایید.
    با تشکر

Leave A Reply

Your email address will not be published.